“各位董事,要是EUV LLC聯(lián)盟在未來二年內(nèi)從理論上證明研制EUV光刻機(jī)的技術(shù)可行,將這個(gè)寶貴的機(jī)會(huì)和重任交給GCA,公司不可能放棄,但投資巨大,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)陷入衰退又不可避免,避免兩線作戰(zhàn),造成資金捉襟見肘,我們只能將重心放在EUV光刻機(jī)的研制上。我建議艾德里安先生和湯普森院長出面找SVG商談,聯(lián)合開發(fā)157nm激光器?!?p> 孫健估計(jì),EUV LLC聯(lián)盟在明年底前就能證明制造EU...