第98章 面見蕭炎
離期末考試還有幾天，所以王向中準備先去拜訪蕭炎教授。
蕭炎也算是光學上真正的專家，在光學領域內(nèi)也算是赫赫有名的一方人物，距離泰斗級別也僅有一山之隔。
不過想要成為這個泰斗，他還需要更多的研究成果。
“應該是這間辦公室吧?！蓖跸蛑惺掷锬弥T珊珊給的小紙條，心里多少還是有些忐忑。
不僅是葉志華有提起過，譚珊珊同樣還私下有過善意提醒：蕭炎教授是一個脾氣很古怪的人，性格急躁易怒，反復無常，需要謹慎對待。
最好的相處方式，就是什么事都順著蕭炎教授的意思來。
懷著這份沉重的心情，王向中猶豫了再三，還是敲開了蕭炎辦公室的門。
“砰砰砰”
“進來?！崩锩?zhèn)鱽砹艘坏缆曇簟?p> 王向中推門進去，便看到一個約莫四五十歲、身著毛氈大衣的中年男子坐在辦公桌前，正在以一種疑惑的眼神上下打量著他。
還沒等他開口，蕭炎便直接開口問道：“你是哪個專業(yè)的學生？”
“我是計算機科學技術的學生，王向中，”王向中笑道，“這次是來……”
還沒等他繼續(xù)說下去，蕭炎便揮了揮手，不耐煩地將他的話給打斷了：“你走錯門了，我執(zhí)教的是光電學，和你們計科毫無關聯(lián)，請回吧?！?p> 果然是脾氣急躁，連話都不想聽完，就下逐客令了，真是聞所未聞。
“蕭教授，我真的是來找您的?！蓖跸蛑蓄H為無奈地解釋道：“我是奉譚珊珊所托，特地來和您請教光電學上的問題，順便把那兩個光柵給帶到華京去?！?p> 聽到這番話，蕭炎也是愣了片刻，旋即不可思議地看向王向中：“你就是那個王向中？”
“是我沒錯。”王向中強顏歡笑著攤了攤手。
這倒是讓蕭炎有些猝不及防，他倒是知道有個叫王向中的小子會來拜訪他，但是他死都沒想到，這個叫王向中的小子竟然這么年輕，看上去也就是剛讀大一的模樣，所以一開始他壓根沒把兩個人想到一起。
他一邊想著，臉色也是越發(fā)難看起來。
“這個葉志華是在搞什么鬼！”蕭炎雙掌成拳，懊惱地拍了一下辦公桌，“這么小的一個后生崽子，竟然也送去晶華，真是浪費名額！”
他可是好不容易才塞了譚珊珊一個名額進小組的，再看到作為課題發(fā)起人的葉志華竟然帶了一個本科一年級小鬼進組，自然是心中不平衡起來。
王向中倒是聽到了蕭教授口中所言，但他也不敢多加辯駁，畢竟譚珊珊已經(jīng)向他囑咐過了，千萬不要招惹后者。
“蕭教授，您先別生氣，”王向中連忙賠笑解釋道：“這次我也是有重要任務在身，私人感情之類的東西請先拋到一邊……”
“我呸！”蕭炎臉色漲紅，大聲說道：“你和葉志華到底是什么關系，憑什么你也可以進組？”
哪怕王向中是一個碩士一年級學生，他的心態(tài)都能平衡不少。
在他看來，這就是葉志華在浪費科研資源，畢竟他從來沒見過一個本科大一學生能做出什么科研成果來。
此刻王向中臉色也有些難看，倒不是因為對方在質疑自己，而是他實在是不知道如何和這個老教授相處。
蕭炎見到王向中不吭聲了，便也是冷笑了一聲，道：“我看你就是去打雜的，也難怪這次會讓你你回來拿東西?！?p> 王向中聽到這話，便是猶如抓住了一根救命稻草一般，連忙小雞啄米似的瘋狂點頭道：“對對對，我是去打雜的，什么臟活累活都是我來干。”
他并不想和蕭炎教授在這這些沒用的問題上爭論不休，索性就借坡下驢，迅速把這個話題給糊弄過去。
聽到王向中的解釋，蕭炎的臉色才算是緩和了不少，旋即接著問道：“小子，你剛才說要向我請教問題，到底是要請教什么，說來聽聽?！?p> 盡管他脾氣急躁易怒，但一碼歸一碼，學術和個人感情問題還是必須區(qū)分開來的，即使他看不順眼王向中，也必須履行作為一個老師的職責。
“沒什么，我就是想了解一下二元光柵的具體原理，以及它的制作方法?！蓖跸蛑行Φ馈?p> “什么？”聽到這話，蕭炎整個人都傻了。
這可是高級的光學內(nèi)容，沒有本科光學基礎知識，怎么可能聽得懂這玩意？
“你能聽得懂？”他半信半疑地喃喃問道，“小子，這可不是葉志華教的計算機原理那么基礎的東西，我不相信你能聽得懂，你還是先去看看光學基礎教材吧?！?p> “我想試試，看看我能不能聽懂。”王向中倒也不退縮，在學術問題上，他一直都有著自己的堅持。
看到王向中那堅毅的表情，蕭炎也是愣了好一會，方才意味深長地點了點頭，道：“既然你這么堅持，那我就和你講講這個光柵是怎么回事吧?！?p> 二元光學的概念起源于十多年前，率先由馬省理工學院研究小組在設計新型傳感器系統(tǒng)時提出。一般認為二元光學是基于光的衍射理論，利用微電子集成電路制作工藝在片基表面上刻蝕產(chǎn)生兩個或多個臺階深度的浮雕結構，形成多相位、同軸再現(xiàn)且具有極高衍射效率的一類衍射光學元件的光學理論技與技術。
二元光學元件可以說是當前光學最新的研究的要點，不僅是i線光刻機可以利用該理論，在日后的DUV、EUV光刻機上，同樣也會使用基于該理論的菲涅爾薄待透鏡陣列，用于改良光刻機水平。
二元光學的主要著眼點就是采用量化的方法，將相息圖連續(xù)變化的坡面用臺階來逼近，量化的次數(shù)越多，臺階數(shù)就越多，也就越趨于接近連續(xù)變化的坡面。
“聽懂了嗎？”蕭炎似笑非笑地盯著王向中，“我已經(jīng)講得非常簡單了?！?p> 王向中聞言，點了點頭，道：“如果用更通俗的方式來講，其實就是利用光的衍射效應，強行在光源固定的情況下，增加更多的坡面，達到變相提升分辨率的辦法?！?p> 在光刻的曝光刻蝕這一步時，一般都是直接使用光源曝光光刻膠，形成一個一道一道的坑道，然后使用化學試劑將殘余的變性光刻膠洗去，然后再進行摻雜工序。
而使用光柵后，能變相地形成更窄的坑道，也就達到了工藝提升的目標。
雖然這樣做不可避免地在曝光刻蝕這一步增加了數(shù)百道工序，但在眼下來看，這已經(jīng)是最佳的改良方式了。
蕭炎見狀，也是瞳孔一縮，這小子不簡單，沒想到還真是個行家！