第93章 力排眾議（上）

　　第二天，晶華晶圓廠禮堂。

　　首先是由李東發(fā)表了一篇又臭又長的感謝致辭，大概意思是水木大學(xué)專家組如何如何厲害，很快就把廠里存在了多年的問題，然后慷慨激昂地著重描繪了一番自己的宏圖偉業(yè)，不過大多都是一些套話空話，聽得臺下的人都快要睡著了。

　　“接下來，有請水木大學(xué)專家組的王向中同志，來發(fā)表講話！”李東倒是完全不在乎臺下觀眾的態(tài)度，依然是笑意盈盈地說道。

　　見到發(fā)言者終于要換人了，不少人也是醒了醒瞌睡，隨即臺下響起了稀稀拉拉的掌聲。

　　會議進(jìn)行到了這里，臺下的人都已經(jīng)認(rèn)為接下來沒什么可以聽的東西，大概就是走個過場這樣子，因此是也情緒比較懶散。

　　不過在前排嘉賓席上的研究生們大多卻是滿眼震驚之色，皆是面面相覷起來。

　　“這個王向中是不是那個小師弟？”

　　“卻是是他啊，怎么不是由葉老來致辭嗎？”

　　“他也能代表我們專家組嗎？”

　　研究生人群里，也是爆發(fā)出了一陣竊竊私語。

　　這一切當(dāng)然被王向中盡收眼底，站在臺上，下面的人在干什么，有什么樣的表情，又在偷偷討論什么，臺上的人都能看得一清二楚。

　　不過他并不在意這些無聊的討論，只是輕輕清了一下嗓子，旋即便開口道：“同志們，朋友們，剛才李董已經(jīng)說了很多了，那我也就不廢話，咱們直接切入正題?！?p>　　臺下的晶華員工們本來都瞌睡了，但是見到上臺發(fā)言的人竟然是一個毛頭小孩，不少人皆是驚得下巴都快掉了下來，頓時間困意全無。

　　“晶華現(xiàn)在已經(jīng)解決了第一重困難，在過去的一個月里，我們已經(jīng)把廠里原來的硅片流水線給遷走了，現(xiàn)在的晶華，已經(jīng)初步具備4英寸和5英寸晶圓的生產(chǎn)能力了?！?p>　　“爾后我們制定了一套培訓(xùn)方案，要求各位領(lǐng)導(dǎo)和同志們執(zhí)行，現(xiàn)在看來，執(zhí)行情況也是比較好的?！?p>　　“所以我們接下來的主要任務(wù)，就是配合晶華，提升現(xiàn)有的光刻精度，努力在一年內(nèi)，將晶華現(xiàn)有光刻機(jī)的工藝節(jié)點(diǎn)，盡量提升到0.5微米以內(nèi)，如果能提升到極限是自然是最好的。”

　　此話一出，臺下一片嘩然。

　　“什么？”

　　“這小子怕是瘋了吧？”

　　不少人皆是面色古怪地看向臺上的王向中，畢竟這種言論還是太嚇人了，這里可是晶華晶圓廠啊，在工程部門工作的人，大多都是懂行的，提升光刻機(jī)的分辨率這種說法幾乎可以等同于胡說八道。

　　臺下來自水木大學(xué)的研究生們此時更是紛紛炸開了鍋，他們倒是聽自己的導(dǎo)師提到過此次任務(wù)的艱巨性，但沒想到王向中一開始就跳出來給他們安排了一個幾乎不可能的任務(wù)。

　　“王師弟，我有一個問題。”臺下的黃曉明突然舉手道，“這可不是光憑你一句話就能決定的事情，提升光刻機(jī)工藝是一件很復(fù)雜的事情?！?p>　　盡管他已經(jīng)在白馬和金圓圓口中聽到了關(guān)于王向中的諸多傳說，但他相信眼見為實(shí)，耳聽為虛，因此也趁機(jī)提出了自己的質(zhì)疑。

　　“問的不錯，”王向中笑道。臺下諸位的反應(yīng)并沒有出乎他的意料，現(xiàn)在自己遭到眾人的質(zhì)疑也是相當(dāng)正常。

　　“根據(jù)瑞利衍射定理，光刻機(jī)的分辨率受影像對比度、光源波長和數(shù)值孔徑影響。早在你們來之前，我就已經(jīng)參觀過了晶華的凈室，5英寸生產(chǎn)線所使用的光刻機(jī)型號是康尼NSR-1010g，屬于一臺i線光刻機(jī)?！?p>　　“i線光波長在為365nm，所以理論上它最高可以支持0.35微米分辨率。”

　　這個年代的光刻機(jī)沒有雙工作臺，浸潤式光刻技術(shù)也還沒有被發(fā)明出來，因而王向中也只能保持這個年代公認(rèn)的說法。

　　“光源波長已經(jīng)定死了，所以我們剩下能做的，就是提高基礎(chǔ)工藝水平，以及提高數(shù)值孔徑?！?p>　　聽到這些話，臺下的研究生們臉色才算是好看了一些，但如果只是這點(diǎn)理論的話，也完全不足以支撐整個改進(jìn)工藝，于是便有人忍不住說道：“那我們怎么提高數(shù)值孔徑呢？”

　　“數(shù)值孔徑的提升有兩個辦法，那就是改良透鏡組，提升它的外鏡直徑，或者是減小透鏡曲率半徑，兩者都是比較好的選擇?！蓖跸蛑谐烈鞯?。

　　“改良透鏡組……”臺下一名戴眼鏡的IE工程師（Industrial Engineer，工程工藝工程師）終于忍不住了，似是有些不屑地提問道：“外鏡直徑說提升就能提升？透鏡難道可以手工打磨？你簡直是在胡說八道，我真是聽不下去了?！?p>　　“你是不是以為自己能比康尼研發(fā)部還聰明？他們做不到的事情你就能做到，你以為你是誰？”他繼續(xù)嘲諷道，“你知道鏡頭材料的技術(shù)指標(biāo)嗎？先不說咱們能不能把鏡頭造出來，你們現(xiàn)在難道已經(jīng)有了設(shè)計(jì)圖紙嗎？”

　　聽到這話，不少人也是臉色一變，看向王向中的眼神也不太信任起來。

　　“這幾臺康尼光刻機(jī)的基礎(chǔ)工藝因子系數(shù)已經(jīng)調(diào)教得很好了，基本接近于0.3，想通過提升對比度方式的工藝提升很有限。而且你擅自改動透鏡組參數(shù)，勢必也要調(diào)整光源功率，到時候又會引發(fā)更多的問題?！绷硪幻鸌E工程師說道，他倒沒有半分鄙視王向中的意思，不過那雙眼睛里滿滿的都是擔(dān)憂之色。

　　光刻機(jī)是一個整體的系統(tǒng)，如果改動了其中一個參數(shù)，那便是牽一發(fā)而動全身的事情，幾乎要將其它相關(guān)聯(lián)的所有參數(shù)改動個遍，而這也是改進(jìn)光刻機(jī)工藝比較難的原因之一。

　　“除非你可以搞到國外的新透鏡組零件，否則一切免談！”戴眼鏡的IE工程師擺了擺手，便也不再發(fā)言。

　　聽言，王向中也是深深皺了皺眉頭。

　　倒不是因?yàn)槟莾扇速|(zhì)疑聲有什么問題，恰恰相反，他們的疑問都是有根有據(jù)的，但王向中怎么又會考慮不到這些問題呢？

　　但是要這么輪番提問下去，這個大會到明天都開不完。

　　“大家稍安毋躁，有關(guān)于這些問題的解決方案，我都已經(jīng)做過一番推演了。你們所提到的問題，其實(shí)都不是問題?！蓖跸蛑型蝗粚⑸らT提高了幾度。