“哦？都有哪些傳感器？”
孫廠長坐直了身體。
“到目前為止，思路已經(jīng)成熟的，除了上次展示過的加速度傳感器，簡單一些的壓力傳感器，水平傳感器，還有飛機(jī)上會(huì)用到的高度傳感器，空速傳感器......”
陳泉在黑板上，連續(xù)寫下了一長串的名字。
既然明白了“他”做的東西，都是傳感器，再去尋找那二十多個(gè)實(shí)驗(yàn)的目的，就容易了很多。雖然有些非常復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，陳泉還是摸不清頭緒，但其中不少結(jié)構(gòu)，每個(gè)實(shí)際可以有多種用途。
更不提，“他”提供了好幾種通用結(jié)構(gòu)。
所以，有些傳感器，是原來“他”實(shí)驗(yàn)里包括的，但也有不少，是陳泉跟趙薇薇討論后，自行擴(kuò)展出來的。原理搞清楚了，可以很容易的舉一反三。
“還有一個(gè)結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜的陀螺儀。這個(gè)可以作為我們第一期作品的收官之作?！?p> “陀螺儀？陀螺儀也能用MEMS技術(shù)加工出來嗎？”
劉院長身邊的中年人，站了起來。
陀螺儀在很多場合，都是核心傳感器。
“您是？”
孫廠長回頭詢問。
“我是跟老劉一起來的，你們叫我王工就好了。”中年人沒有透露姓名，其他人互相看了一眼，也就不問了。
“你還沒有回答我的問題呢？小伙子！”
“哦。當(dāng)然能了。由于陀螺儀的造型過于復(fù)雜，我還特意帶來了它的模型?！?p> 陳泉一擺手，曲燕秋就托著一套，由紙殼做的簡陋樣品，走上講臺(tái)。
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微電子實(shí)驗(yàn)室。
“你的手抖什么抖?。窟@塊晶圓片算是廢了！”
張棟被氣得渾身發(fā)抖?！澳阒溃@塊晶圓片值多少錢嗎？加上剛才消耗的各種藥水，制劑，一百元！讓你一抖，就這么沒了！”
“沒有全廢吧。那一半不是還能用嗎？”
自知犯了大錯(cuò)的成興，試圖分辨。
1989年的冰城，學(xué)生生活費(fèi)，50元一個(gè)月能吃飽，100元，絕對(duì)能吃好。
“哦，天??！我真是受夠了?！?p> 張棟的耐心徹底沒了?！斑@是誰出的餿主意！讓這些連課都沒上過的新生，做半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)？”
“老張，有點(diǎn)耐心。”
在旁邊工作臺(tái)做實(shí)驗(yàn)的科研人員，邊操作，邊勸解?！澳悴荒芷谕腥硕几惾粯?，一看就會(huì)，一聽就懂的?！?p> “老師，讓我們兩個(gè)人一組吧。這次我們小心點(diǎn)?！?p> 云麗上前一步。
有了臺(tái)階下，張棟的態(tài)度好了一點(diǎn)?！靶校愀膳d一組，于耀贏跟李季一組。剩下的馮言，自己一組?！?p> 被訓(xùn)得滿臉通紅的成興，感激的看了一眼，身邊不起眼的同班女生。
在MEMS小組內(nèi)，人雖然不多，但隱隱分成了幾派。
于耀贏，李季，都是陳泉和曲燕秋的嫡系，而馮言，干脆是陳泉二人的干姐姐，前些天發(fā)表的中文綜述，還撈到了署名，心態(tài)都比較好。
而云麗和成興，被拉入小組，完全不知道背后的原因，比較忐忑，做事情也有些畏首畏尾。
由于相似的處境，兩個(gè)人最近有點(diǎn)抱團(tuán)取暖的意思。
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會(huì)議室。
看到樣品，感興趣的客人，紛紛離開座位，圍了過去。
“這不對(duì)吧。”
王工上上下下，里里外外的把樣品看個(gè)通透。
“什么不對(duì)？”
冰飛的周總工，就在他的身邊。
“這種結(jié)構(gòu)，以現(xiàn)在的MEMS工藝，根本加工不出來吧?！?p> 王工把模型舉了起來，抬高到跟視線平齊。“我記得，MEMS所采用的犧牲層工藝，根本加工不出如此的高深寬比、高垂直度?！?p> 犧牲層技術(shù)（工藝），1985年才被引入到半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，“表面”微機(jī)械加工概念由此產(chǎn)生。之所以，1988年，震驚世界的微靜電馬達(dá)能夠問世，就是拜犧牲層技術(shù)所賜。
王工的專業(yè)性評(píng)價(jià)，大多數(shù)人沒有聽懂，但并不妨礙大家把目光投向陳泉，等待解釋。
“是的。這個(gè)陀螺儀，我不準(zhǔn)備只采用犧牲層工藝?！?p> 陳泉沒有絲毫慌亂。
記憶里，陀螺儀采用的加工工藝，的確發(fā)生了變化。
之所以，陳泉要拋出新論文，也跟加速度傳感器論文，被《Applied Physics Letters，應(yīng)用物理快報(bào)》采用有些關(guān)系。
應(yīng)用物理快報(bào)，在半導(dǎo)體工藝系列里，算是與MEMS有關(guān)聯(lián)的期刊里，最好的一波期刊了。其SCI影響因子超過了4。
?。ㄕ嬲腗EMS專業(yè)期刊，還沒有面世。）
按理，論文被確定采納，是件大好事，但陳泉和曲燕秋有點(diǎn)坐不住了。因?yàn)椴徽撌撬€是她，都沒有任何感覺。
前兩次的過關(guān)，陳泉和曲燕秋，都能明顯看到，或者感到一些不同。
例如第一次過關(guān)，曲燕秋被實(shí)質(zhì)激活，第二次，干脆蘇醒?？涩F(xiàn)在，沒有消息，就是最壞的消息。
所以兩個(gè)人，不得不繼續(xù)拔高心理目標(biāo)，把論文的層次，再推高一個(gè)檔次。
這次的目標(biāo)，盯叮住了CNS（CELL， SCIENCE， NATURE），這三本頂級(jí)超一流期刊，一次就給他搞到位。
這種超一流期刊論文，在80年代末，不用多，只要有一篇，在國內(nèi)，就可以開宗立派，直接成立專屬實(shí)驗(yàn)室，乃至新的專業(yè)。
這個(gè)陀螺儀，以及它后面的工藝論文，就是陳泉和曲燕秋兩個(gè)人，精心選出來的目標(biāo)。
.....
“不是犧牲層工藝？還有別的工藝嗎？我怎么沒有聽說？”
王工瞇起眼睛，重新打量起眼前的，年輕得不像話的青年。
“嗯，姑且算是我的發(fā)明吧。這次想申請(qǐng)的專利，就有它一個(gè)?！?p> 國際專利申請(qǐng)的初期，花錢不算太多，交800到一千美元的報(bào)名費(fèi)，就可以有12到18個(gè)月的獨(dú)占期。沒有這個(gè)時(shí)間差，MEMS項(xiàng)目組，支付不起加速度傳感器的專利申請(qǐng)。
“這個(gè)工藝叫什么名字？”
“嗯，叫.....”
陳泉撓了撓頭。
所有的記憶，都是圖像記憶，名字什么的，從來都是沒有。
“我還沒有給它起名呢。要不就叫深硅刻蝕工藝吧。”
陳泉按照直覺印象，隨口起了個(gè)名字。名字說出口后，感覺還不錯(cuò)。
“深硅刻蝕工藝？那是什么東西？”
王工滿臉迷惑?！澳懿荒芙o我解釋一下，這個(gè)工藝是如何實(shí)現(xiàn)的？”
“能倒是能，不過這可就是真正的核心技術(shù)了.....”
陳泉十分為難，看向四周，滿臉的不放心。
“王工，你就別難為.....”
林書強(qiáng)跑過來幫腔。
“哈，小伙子，你小瞧了我?！?p> 王工突然虎軀一震，挺直了身體?！爸灰隳苷f服我，可以實(shí)現(xiàn)眼前的這套陀螺儀，200萬的贊助資金，我們航院出了！”
“你們航院出了？”
陳泉傻眼了。
不僅陳泉傻眼了，其他人也都傻眼了。
黃楚雄傻眼了，趙良材傻眼了，連林書強(qiáng)都傻眼了。
作為校長，他竟然不知道，下面的航院，居然如此有錢了？
航院的劉院長，其實(shí)也傻眼了。
航院哪里有什么錢??！
但他什么都不說，接著看熱鬧。
......
“我們單獨(dú)聊聊？”
趙良材最先反映過來。這位王工，作為航院院長的客人，身份已經(jīng)呼之欲出了。
“好?！?p> 王姓中年人直接出手，把講臺(tái)上的模型，摟了下來，揣在懷里?！拔覀冏?？”
.....
“等等，等等！等一下！”
在一邊看熱鬧，看得正高興的孫廠長，站了起來?！拔以趺从X得不對(duì)勁呢？今天的會(huì)議主題，不是讓我們冰飛對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行審查嗎？怎么現(xiàn)在就要散會(huì)？”