“同志們辛苦了，我代表公司獎(jiǎng)勵(lì)項(xiàng)目組20萬元！”
二十七日下午，接到魏建國的電話，光刻機(jī)電源廠制造成功第一臺ArF準(zhǔn)分子激光器樣機(jī)，孫健第二天上午乘飛機(jī)來到京城，接見ArF準(zhǔn)分子激光器樣機(jī)項(xiàng)目研制和生產(chǎn)項(xiàng)目部成員代表。
十月中旬，夏季常團(tuán)隊(duì)研制成功5英寸晶圓、1um制程工藝的磁懸浮式雙工作臺系統(tǒng)。
GCA光刻機(jī)半導(dǎo)體研究院得到磁懸浮式雙工作臺系統(tǒng)的專利技術(shù)，為了早...