EUV光源的技術(shù)基本只掌握在花旗國(guó) Cymer公司手中，星光科技公司作為一家華夏公司，基本上不可能與対方達(dá)成技術(shù)合作，因?yàn)榛ㄆ靽?guó)政府，就不會(huì)同意。
EUV光刻機(jī)——頂級(jí)科學(xué)與頂級(jí)制造的結(jié)合。
EUV波長(zhǎng)只有13.5nm，穿透物體時(shí)散射吸收強(qiáng)度較大，這使得光刻機(jī)的光源功率要求極高，此外機(jī)器內(nèi)部需是真空環(huán)境，避免空氣對(duì)EUV的吸收，透鏡和反射鏡系統(tǒng)也極致精密，配套的抗蝕劑和防...