第093章 光掩模制版

　　令余子賢興奮的是，在蔡俊杰的研究資料里面看見了光刻技術(shù)工序工藝中，與最重要工藝的電子束曝光系統(tǒng)對應(yīng)的微米級(jí)掩模的制造。

　　聽著好像有點(diǎn)繞口、難懂，但是要說這種微米掩模技術(shù)的先進(jìn)性，還得從掩模技術(shù)的發(fā)展說起。

　　芯片的生產(chǎn)流程圖簡單來說要經(jīng)過IC設(shè)計(jì)、制版、芯片加工，封裝、測試包裝幾大環(huán)節(jié)，如果簡單地打個(gè)比方來說，如果比喻成一本書的印刷的話，就是：寫作、排版、印刷、裝訂、檢驗(yàn)、打包。

　　而前面說的掩模對應(yīng)書本印刷里面的排版，只要排好版了，對著版面印刷，才能印出一本整齊漂亮的書。同理，在芯片加工之前，需要將設(shè)計(jì)好的芯片版圖進(jìn)行制版，只有以此為模板，進(jìn)行芯片制造光刻，才能制造出裸晶，再這些裸晶中檢測挑選出好的，最后芯片進(jìn)行封裝，才算是一顆可用的芯片。

　　再往細(xì)了說，就是光刻工藝是芯片制造中最為重要的工藝步驟之一。主要作用是將掩膜板上的圖形復(fù)制到硅片上，為下一步進(jìn)行刻蝕或者離子注入工序做好準(zhǔn)備。

　　在芯片制作過程的光刻工序，通常需要經(jīng)過多次光刻工藝，在半導(dǎo)體晶體表面的介質(zhì)層上開鑿各種摻雜窗口、電極接觸孔或在導(dǎo)電層上刻蝕金屬互連圖形。

　　而光刻工藝需要一整套（幾塊多至十幾塊）相互間能精確套準(zhǔn)的、具有特定幾何圖形的光復(fù)印掩蔽模版，簡稱光掩模版。

　　光掩制造技術(shù)是隨著平面工藝的誕生逐漸發(fā)展起來的。

　　在1963年共和國就已經(jīng)研制成功了平面晶體管和硅數(shù)字集成電路。這時(shí)候就是沿用的傳統(tǒng)的照相術(shù)，首先在銅板紙上噴涂一層黑漆，然后用手術(shù)刀人工刻圖、截圖，采用大型照相機(jī)照相制成掩模板。

　　等到七十年到，共和國從曰本引進(jìn)一批聚酯紅膜刻圖機(jī)和可在超微粒干版上曝光的E線分步重復(fù)曝光機(jī)，才算是擺脫人工進(jìn)入了機(jī)械制造光掩模的能力；而八十年代，掩模技術(shù)設(shè)備再次更新?lián)Q代，在建立滿足自身光學(xué)掩模生產(chǎn)所需的鉻板的同時(shí)，又利用中美蜜月期，引進(jìn)了一批高精度光學(xué)制版設(shè)備，包括可變光闌式圖形發(fā)生器，還有與之配套的GCA公司的精縮機(jī)。此時(shí)共和國的掩模制版能力跨上了一個(gè)大臺(tái)階，也是光掩模技術(shù)制造業(yè)的鼎盛時(shí)期，最接近國際光掩模制造水平的高光時(shí)刻。

　　可喜隨著進(jìn)入90年代，國際進(jìn)入亞微米集成電路和亞微米加工技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用，共和國的光刻技術(shù)以及光掩模技術(shù)再次到了設(shè)備高興周期。

　　而此時(shí)，隨著國際政治環(huán)境的變化，共和國引進(jìn)之門被巴統(tǒng)禁運(yùn)徹底關(guān)上。

　　蔡俊杰正開發(fā)的掩模技術(shù)直接影響著掩膜版的質(zhì)量，而光掩模版的質(zhì)量優(yōu)劣不僅僅直接影響著光刻工藝的質(zhì)量，還影響著半導(dǎo)體器件或集成電路的電學(xué)性能、可靠性和芯片成品率。

　　不如說佟若愚之前說的3微米工藝芯片的良率從59%有希望提高到70%以上，就是因?yàn)槿绱恕?p>　　芯片成品率隨著掩模版的缺陷密度的增大而按負(fù)指數(shù)關(guān)系急劇下降。據(jù)推算，若要達(dá)到95%以上的成品率，掩模版的缺陷密度必須控制在每平方厘米0.175 個(gè)以下。如果缺陷密度增大到每平方厘米1.25個(gè)，則成品率因缺陷的直接影響會(huì)下降到65%以下。因此，根據(jù)佟若愚的說法，此時(shí)蔡俊杰的掩膜版技術(shù)應(yīng)該是取得了突破。

　　而這個(gè)突破是余子賢非?？粗氐模蛻{這個(gè)技術(shù)，這個(gè)廠子收購下來都值了，余子賢可不打算一直在3微米左右混。4英寸的晶圓最小可以加工1.2微米工藝的芯片。余子賢希望在收購回來的1-2年來達(dá)到這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)。

　　共和國此時(shí)打算上馬的908工程，因?yàn)楦鞣N原因，可是到98年才打到0.9微米的，國內(nèi)其他合作項(xiàng)目也是在1995年才跨國1微米的門檻，進(jìn)入到亞微米技術(shù)的。

　　只有領(lǐng)先才有飯吃，縱使做不了全球技術(shù)領(lǐng)先，但是可以引領(lǐng)國內(nèi)技術(shù)的發(fā)展，為自己爭取更多的話語權(quán)，這有這樣，共和國電子工業(yè)才有崛起的希望！才能避免像前世一樣，跟在別人后面一直在吃土！

　　想通這些之后，余子賢又給蔣月華打電話，告訴已經(jīng)打算收購蔡氏晶圓廠的決定，讓他那邊可以啟動(dòng)盡職調(diào)查，還有貸款程序。

　　他得回內(nèi)陸一趟，想想辦法看能不能搜刮些錢，他實(shí)在不想抽干金拱門的流動(dòng)資金啊，那都是本錢，會(huì)下崽的搖錢樹?。∧Х街腔凼歉鼪]有可能了，現(xiàn)在他的資金鏈剛持平，大計(jì)劃當(dāng)前，更加不敢亂動(dòng)！

　　之后，又和蔡老板簽了個(gè)收購協(xié)議。

　　到此時(shí)，余子賢才覺得自己可用的人手真是太少了，什么事情都得自己跑！

　　他現(xiàn)在有了一絲期待，不知道蔣月華什么時(shí)候從匯豐銀行正式離職，到時(shí)候怎么都得想辦法挖過來，金融這一塊對方是專業(yè)，可以讓自己少操多少心！

　　這邊事情安排好之后，余子賢和郝萌又返回了羊城，準(zhǔn)備做飛機(jī)返回燕京。

　　可是當(dāng)天的飛機(jī)直飛燕京的沒有了。兩三天之后倒是有，可是時(shí)間等不及??！

　　今天已經(jīng)是2月2號(hào)了，按照老爺子的計(jì)劃，在8號(hào)左右好像有一個(gè)燕京全市表彰大會(huì)，非要余子賢去參加，說什么有驚喜之類的。

　　這還有五六天了，先把自己的事情辦好，完了參加會(huì)議，春節(jié)前《看圖猜成語》游戲又要上線，到時(shí)候自己也得參加，這都是一堆事情！

　　今天怎么都得走，不然事太多，時(shí)間來不及！

　　沒辦法，兩人只好買了中轉(zhuǎn)廈鷺市的機(jī)票。

　　郝萌這邊的事情也算是告一段落了，現(xiàn)在回去可以在家過一個(gè)春節(jié)了。

　　余子賢有個(gè)不知道是好還是壞的習(xí)慣，每次坐火車或者做飛機(jī)的時(shí)候都要把自己排空放干凈，不然總感覺在火車或者飛機(jī)上上廁所太麻煩不自在。

　　這次也不例外。余子賢讓郝萌先上，他先在大廳上了個(gè)洗手間，等余子賢登機(jī)的時(shí)候，前面的人已經(jīng)登機(jī)一半有余了。

　　排隊(duì)安檢，余子賢前面正好一個(gè)拎著密碼箱的小伙子，看起來很煩躁的樣子，神態(tài)有些慌張。余子賢沒有在意，以為對方是不是身體有什么不舒服的。

　　這個(gè)小伙子也就20余歲，很年輕，身高1米7左右。一身西服，他一手拿著一束塑料制紅玫瑰，看起來是個(gè)有情調(diào)的有錢人。

　　不過大家都順利的通過安檢，兩人也依次順序登機(jī)。

　　余子賢在登上飛機(jī)進(jìn)入機(jī)艙門的剎那，突然一陣心悸，說不來的莫名煩躁，只當(dāng)是等坐飛機(jī)的心底一絲恐懼，沒有在乎。