第440章秘密武器
不過呢,也不能完全說就是因為光刻機(jī),而限制了國內(nèi)的芯片制造技術(shù)發(fā)展。
在胡楊的記憶中,同樣是浸沒步進(jìn)式光刻機(jī),臺電就用這種設(shè)備一直將制程工藝做到16(nm)、12(nm)甚至是10(nm)。
胡楊隱約記得,當(dāng)年尹志遙教授曾經(jīng)說過,臺電是在工藝上進(jìn)行了創(chuàng)新。似乎先后應(yīng)用了雙重曝光法、模具遮擋法等等,不過很可惜他自己本身不是理工男,記憶并不清晰完整...
第440章秘密武器
不過呢,也不能完全說就是因為光刻機(jī),而限制了國內(nèi)的芯片制造技術(shù)發(fā)展。
在胡楊的記憶中,同樣是浸沒步進(jìn)式光刻機(jī),臺電就用這種設(shè)備一直將制程工藝做到16(nm)、12(nm)甚至是10(nm)。
胡楊隱約記得,當(dāng)年尹志遙教授曾經(jīng)說過,臺電是在工藝上進(jìn)行了創(chuàng)新。似乎先后應(yīng)用了雙重曝光法、模具遮擋法等等,不過很可惜他自己本身不是理工男,記憶并不清晰完整...