第376章 極紫外光刻機(jī)

　　蘇揚(yáng)看了半秒劉元龍，道：“這些設(shè)備，的確是最新的半導(dǎo)體核心設(shè)備，尤其是光刻機(jī)?！?p>　　說(shuō)著，指著光刻機(jī)道：“這臺(tái)光刻機(jī)里面的激光器、光束矯正器、能量控制器、光束形狀設(shè)置、遮光器、能量探測(cè)器、掩模版都是國(guó)際最前沿的技術(shù)產(chǎn)品。”

　　蘇揚(yáng)繼續(xù)道：“另外，掩膜臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制精度達(dá)到納米級(jí)，物鏡、量臺(tái)、曝光臺(tái)、內(nèi)部封閉框架、減振器等物，也都是目前最先進(jìn)的產(chǎn)品?！?p>　　“當(dāng)然，最主要的還...